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| 本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體檢查裝置，包括：將電壓施加到半導(dǎo)體器件的力探針、以及檢測(cè)所述半導(dǎo)體器件的電壓的傳感探針，其中所述力探針接觸所述半導(dǎo)體器件的電極焊盤并且所述力探針和所述傳感探針彼此接觸以測(cè)量所述半導(dǎo)體器件的電特性，并且當(dāng)從相對(duì)于所述半導(dǎo)體器件的電極表面（主表面）垂直的方向觀察時(shí)，所述力探針和所述傳感探針大體上布置在同一條線上。 |
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半導(dǎo)體檢查裝置
一種半導(dǎo)體檢查裝置，包括： 力探針，所述力探針將電壓施加到半導(dǎo)體器件；和 傳感探針，所述傳感探針檢測(cè)所述半導(dǎo)體器件的電壓，其中 所述力探針接觸所述半導(dǎo)體器件的電極，并且所述力探針和所述傳感探針彼此接觸以測(cè)量所述半導(dǎo)體器件的電特性，和 當(dāng)從相對(duì)于所述半導(dǎo)體器件的電極表面垂直的方向觀察時(shí)，所述力探針和所述傳感探針大體上布置在同一條線上。
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| 專利號(hào): |
200810090758 |
| 申請(qǐng)日: |
2008年3月31日 |
| 公開/公告日: |
2008年10月1日 |
| 授權(quán)公告日: |
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| 申請(qǐng)人/專利權(quán)人: |
恩益禧電子股份有限公司 |
| 國(guó)家/省市: |
日本(JP) |
| 郵編: |
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| 發(fā)明/設(shè)計(jì)人: |
釜堀英生 |
| 代理人: |
關(guān)兆輝 陸錦華 |
| 專利代理機(jī)構(gòu): |
中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司(11219) |
| 專利代理機(jī)構(gòu)地址: |
北京市朝陽(yáng)區(qū)建國(guó)路99號(hào)中服大廈1300室(100020) |
| 專利類型: |
發(fā)明 |
| 公開號(hào): |
101275984 |
| 公告日: |
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| 授權(quán)日: |
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| 公告號(hào): |
000000000 |
| 優(yōu)先權(quán): |
日本2007年3月29日2007-086411 |
| 審批歷史: |
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| 附圖數(shù): |
3 |
| 頁(yè)數(shù): |
8 |
| 權(quán)利要求項(xiàng)數(shù): |
2 |
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